三坐标测量机是一款高精度测量仪器，它在使用过一段时间后，在精度不好的情况下要对机器精度进行补偿，精度补偿是需要专业技术工程师，以及专业的量块来对其进行精度校验，校验三坐标具体方法如下，确认测座装置方向与三次元坐标轴方向共同，假如拆卸了测座，要进行找正。测座固定牢靠，测头、测针的装置牢靠（装置应使用工具），宝石球清洁、无破损，加长杆装置长度与测头或吸盘的负载才能协调。

规范球与台面（或支撑）固定牢固，各衔接关节紧固。球体无损伤，外表清洁软件中三坐标测座、测头、加长杆、测针设置正确（测杆长度输入正确），测头使用方位界说正确（防止使用时发现缺项，宁多无少）。

规范球直径输入正确（有必要是校准证书或合格证中的实在值），测头校对速度设置与丈量时共同。单个测头方位校对，留意调查三次元测量仪测针直径和规范差错，三坐标测针直径应与平时校对相近且重复性好，规范差错尽量小，（测头前加长杆长时，直径小，差错大）多个三坐标测头方位校对时，除要调查以上成果外，还要用校对后的各个三坐标测头方位测量规范球，调查球心坐标值的变化，数值应与示值差错或探测差错相近。使软件得到三次元测量机测针宝石球的 等效直径 ,自动进行 测头半径的补偿！